测试运动+整定时间
取移动距离20mm,速度1000mm/s,加速度1G运动
测试静态稳定性
从断使能到上使能后,使能状态的静态稳定性(三次)
测试重复/绝对定位精度
使用雷尼绍干涉仪进行测试,对于待测平台,取20mm的步进距进行测试,来回测试3次