测试运动+整定时间
取移动距离20m,速度1200m/s,加速度1.2G运动
测试静态稳定性
从运动结束后,保持使能状态的静态稳定性(三次)
测试重复/绝对定位精度
使用雷尼绍干涉仪进行测试,对于待测平台,取5mm的步进距进行测试,来回测试3次