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精密运动台对比测试数据

HPP案例.jpg


测试运动+整定时间

取移动距离20m,速度1200m/s,加速度1.2G运动


测试静态稳定性

从运动结束后,保持使能状态的静态稳定性(三次)


测试重复/绝对定位精度

使用雷尼绍干涉仪进行测试,对于待测平台,取5mm的步进距进行测试,来回测试3次

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