精密运动台对比测试数据

气浮轴测试

采用间隔15mm取一个点，

获取10个点位的静态跟随误差曲线

导轨轴测试

采用间隔20mm取一个点，

获取10个点位的静态跟随误差曲线

测试数据

测试数据中单位为脉冲，

驱动器中单个脉冲精度为4nm

气浮轴测试结果

统计所有十个点的误差数据，绝大部分的数据在士5个脉冲（士20nm），偶尔会有超出（士7个脉冲（士28nm））。

导轨轴测试结果

统计所有十个点的误差数据，绝大部分的数据在士4个脉冲（士16nm），偶尔会有超出（士5个脉冲（士20nm））。

在两个导轨的测试中，测试结果都可以满足要求静态跟随误差小于士30nm，其中下层导轨轴的误差会略小于上层气浮轴的误差