晶圆划片机

相关产品: 

软件定义的运动控制器(APC-M47)

图像采集卡 (PCIe-CPL64V Full)

多功能数据采集卡(PCIe-9121)

集成的运动控制与数据采集解决方案，确保精确运动并检测切割刀具，以验证将晶圆干净、精确地切割成独立芯片。

需求和挑战：

1.紧凑型设备，采用EtherCAT解决方案，需具备更高切割精度

2.集成AOI自动光学检测系统，实现缺陷即时检测

3.2通道，每通道采样率≥62.5 kS/s，用于检测旋转刀具的潜在缺陷（50,000 RPM转速下每转采集75点）

4.2通道，每通道采样率10 kS/s，用于振动监测

5.视觉系统用于晶圆对准、切割引导及切割后检测 

解决方案：

1.集成化与模块化解决方案:

   APC-M47 将 SuperCAT 软运动控制、数据采集（DAQ）和自动光学检测（AOI）集成于单一控制器。

   SuperCAT 支持用户自定义映射功能，可灵活适配不同机型。

2.Precise Multi-channel Data Acquisition:

   支持4通道总采样率400kS/s，实现对切割刀具120个采样点的检测

   支持14位分辨率，可识别细微切割缺陷

   支持通道增益队列功能，便于数据管理

3. 高吞吐图像采集能力:

   支持 CameraLink Full 相机，传输带宽高达850MB/s，有效降低CPU占用