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晶圆固定
行业:半导体 前道
对象:12寸晶圆片
目标(问题):自动引导机械手,将晶圆片准确放置在底座上,精度要求0.1mm
难点:晶圆特征、振动等带来的干扰
方案:4目定位+定制打光+定制算法
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全自动IC分选
行业:半导体 后道
对象:IC
目标(问题):实现32site处理能力,解决运动轴数量越来越多情况下PCI板卡插不下,接线工作繁重等问题
难点:30轴高速响应,多达300点IO
方案:EtherCAT总线控制
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全自动耦合机(Collimating lens aligner)
行业:半导体 后道
对象:光器件芯片
目标(问题):现有方案成本太高、且交期长、服务差
难点:高精度对准
方案:铟镓砷红外+DSP运动控制卡
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